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   集成電路

     在集成電路制程的潔凈室環(huán)境中，會產(chǎn)生氣態(tài)分子污染物 （AMC）。AMC可能會在制程的多個關(guān)鍵工藝中產(chǎn)生危害，影響產(chǎn)品的良品率、性能及可靠性；如對晶片表面造成污染，導(dǎo)致連接線腐蝕等特性，從而危及產(chǎn)品質(zhì)量 。因此，控制 AMC 對于在集成電路潔凈室中保持產(chǎn)品良率至關(guān)重要。

     化學(xué)過濾器安裝在新風(fēng)處理機(jī)組（MAU）和風(fēng)機(jī)過濾單元（FFU）上，通過物理吸附和化學(xué)吸附有效控制潔凈室內(nèi)酸性氣體、堿性氣體和VOC的濃度，保證產(chǎn)品的制造在潔凈環(huán)境下進(jìn)行。